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青島福盟微電子半導體行業真空爐-高性能F

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顏廷福(市場部經理)
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青島福盟微電子設備有限公司熱處理爐
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青島福盟微電子設備有限公司熱處理爐

青島福盟微電子設備有限公司是一家集控制技術、真空技術、熱工技術為一體的高新技術企業。目前主要產品有半導體專用設備：太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學氣相沉積設備，真空燒結爐、氫氣爐、鏈式燒結爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐， 同時承接各種微電子生產線及進口半導體專用設備的翻新改造工作。“以人為本，欲做生意，先學做人”的立廠之根，和“以客戶至上，質量{dy}，服務無止境”的立廠之本，堅持產品設計和服務質量的持續發展。福盟全體員工熱忱歡迎國內外廣大新老客戶來我公司洽談業務，共圖發展。
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從結構上分為臥式、立式、箱式，從真空度上分為低真空、高真空，從使用溫度上分為低溫、高溫，從真空室材料上分為石英管、耐熱 不銹鋼管，從真空獲得上分機械泵、機械泵＋擴散泵、機械泵＋分子泵。 設備用途：廣泛用于電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結、封裝、焊接、合金、退火等工藝。 主要技術指標： ★工位： 單、雙、三工位 ★工作溫度： 300～1100℃（不銹鋼真空室{zg}1000℃） ★真空度： 優于5×10-3 Pa ★真空室直徑：Φ150～300 mm ★恒溫區長度：400～1000 mm ★控制精度： ±1.0～3.0℃ ★爐體移動速度：0～400 mm/min ★{zd0}充氣壓力：0.5 MPa （不銹鋼真空室） ★加熱功率： 10～80 KVA ★控制系統： 進口儀表＋PLC＋觸摸屏 ★安全連鎖保護：超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護報警
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