

簡單的講,Varian Turbo-V 81-M比Varian Turbo-V 81-T高級一些,從“身高”來看就高一些


Varian TURBO Pump Controllers V-70常見用于較老款半導體設備,各類檢測儀器的小型真空腔體上.
由于渦輪級有較大的抽氣面積,抽速很大,而牽引級溝槽抽氣面積較小,在兩種結構的聯接處,由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變,使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序,至使返流增加,抽氣能力下降。


Varian Turbo-V 81-T和varian TV81-M,轉速都是80000,DN63口徑時,抽速都是77L/s,
啟動時間都是60秒,分子泵電源可以相互通用,他們差別在哪里,很多人不清楚。