產品型號:NBD-HR1200-110IT-170,RTP快速退火爐
商品簡述:NBD HR系列高溫快速熱處理退火爐簡稱RTP。 該產品采用國際先進制造工藝,造型新穎結構合理;
目前已被各種試樣實驗多次驗證,并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域;
該系統主要用于:
1.可滿足離子注入后的快速退火;
2.也可用于歐姆接觸快速合金;
3.還可用于硅化物合金退火,氧化物生長;
4.以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。
該設備是國家專利保護產品,專利號:CN201310005931.6
快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),在吸收了國際先進生產制造工藝的基礎上自主研發了該kuan產品,RTP快速退火爐擁有獨立的發明專利。該設備不但擁有極快的升溫速率500℃/S,而且在燒結工藝運行完結,直接將試樣在高溫區取出。實現物理狀態下的最快降溫。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝,RTP快速退火爐在綠色節能環保的基礎上真正的實現了試樣的極速升降溫!
腔體采用了獨有進氣結構,內管進氣,外管出氣,RTP快速退火爐使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的利器。測溫元件直接和試樣接觸,RTP快速退火爐保證試樣溫度的精準性。