上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼離子源 KDC 10

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伯東企業（上海）有限公司

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內有一千七百名員工。伯東企業(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業據點。
上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供世界{yl}的真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念，已累計為超過10,000家企業提供真空服務，覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權代理商，全權負責在中國地區的銷售和維修服務，100% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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KRI 考夫曼 KDC 10
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 考夫曼 KDC 10: 考夫曼型 Gridded 系列最小型號的. 適用于集成在小型的真空設備中, 例如預清洗, 離子濺射, 離子蝕刻. 在 <1000eV 低能量, 通 Ar 氬氣時離子蝕刻的能力顯著提高.KDC 10 低損傷, 寬束設計, 低成本等優點廣泛應用在顯微鏡領域, 標準配置下 KDC 10 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 10mA.
考夫曼離子源 KDC10
KRI 考夫曼 KDC 10 技術參數

型號	KDC 10
供電	DC magnetic confinement
- 陰極燈絲	1
- 陽極電壓	0-100V DC
- 柵極直徑	1cm
中和器	燈絲
電源控制	KSC 1202
配置	-
- 陰極中和器	Filament, Sidewinder Filament 或LFN 1000
- 架構	移動或快速法蘭
- 高度	4.5'
- 直徑	1.52'
- 離子束	集中平行散設
-加工材料	金屬電介質半導體
-工藝氣體	惰性活性混合
-安裝距離	2-12”
- 自動控制	控制4種氣體

KRI 考夫曼 KDC 10 應用領域
離子清洗, 顯微鏡拋光 IBP
濺鍍和蒸發鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD
表面改性, SM
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
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